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, 总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术,推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。


例句

, 总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术,推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。

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